超纯水是在反渗透技术的基础上，添加了离子交换和终端处理技术，有些还有离子除盐、超滤和UV光氧化作用设备。尽可能地去处天然水中常见的可溶性无机物、有机物、颗粒物、微生物、可溶性气体等杂质。

超纯水质有比较严格的要求，一般根据应用行业的性质，电导率需达12MΩ、15MΩ、17MΩ、18MΩ、18.2MΩ等不同级别的超纯水。

超纯水设备常用的工艺方法有蒸馏法、反渗透法、离子交换法、过滤法、吸附法、紫外氧化法等，将水的纯化过程大致分为4大步，预处理（初级净化）、反渗透（生产出纯水），离子交换（可生产出18.2MΩ.cm超纯水）和终端处理（生产出符合要求的超纯水）。

超纯水的用途：

1、超纯材料和超纯试剂的生产和清洗；

2、电子、半导体、精密机械行业用超纯水；

3、电池产品的生产；

4、半导体产品的生产和清洗；

5、电路板的生产和清洗；

6、其他实验高科技精细产品的生产等。