在影响处理效果好坏的因素中，臭氧发生器起着至关重要的作用。

臭氧发生器产量以确定的臭氧投加量进行计算，如水量100t/h COD由100→50mg/L，臭氧投加比例O3：△COD按2：1，那么发生器产量为100*（100-50）*2/1000=10kg/h，选型可考虑10%的余量。

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臭氧发生器通常分为空气源、富氧源和液氧源。

1.空气源臭氧发生器
空气经压缩机压缩后进入臭氧发生器制取臭氧，适合于产量10kg/h以下的臭氧发生器。
该类型臭氧发生器制取臭氧的浓度在2-2.5%，功耗在14-16kwh/kgO3（不计空气压缩功耗）。

2.富氧源臭氧发生器
以制氧机制取纯氧后进入臭氧发生器制取臭氧，适合于产量10kg/h以上的臭氧发生器。
制氧机制取的氧气纯度约90%，每制取1Nm3/h氧气，约需要12-15Nm3/h空气。
该类型臭氧发生器制取臭氧的浓度在8-10%，功耗在6-8kwh/kgO3（不计制氧机功耗）。

3.液氧源臭氧发生器
直接以液态氧气为原料制取臭氧，适合于产量10kg/h以上的臭氧发生器。
每吨液氧可以汽化出约700Nm3氧气，每产1kg O3约需要10Nm3氧气，可以估算液氧的每天用量。
该类型臭氧发生器产生臭氧浓度及功耗同富氧源臭氧发生器。

由此可以看出，空气源和富氧源臭氧发生器主要费用为电耗，液氧源臭氧发生器主要费用为液氧和电耗。
具体使用哪种形式需根据实际情况考虑，液氧源臭氧发生器设备故障率及维修费用会大大降低，但需考虑液氧是否方便购买及购买成本问题。
通常每吨液氧单价为600元左右，运输费用每吨液氧每公里约0.8-1元。
根据室外给水设计规范，臭氧发生器间用电设备如照明、起吊、通风等必须采用防爆型，而臭氧发生器及其附带的所有用电设备无需防爆设计。
臭氧发生器间属于乙类厂房，设计需考虑防火间距。